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故障 |
可能的原因 |
检修 |
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真空泵无法启动 |
电源线链接不正确 |
检查更换电源线 |
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电源电压与电机不匹配 |
更换电机或电源电压 |
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电机损坏 |
更换电机 |
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泵油温度过低 |
加热泵和泵油或更换其他类型泵油 |
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泵油过于黏稠 |
换油 |
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排气过滤器或排气管道堵塞 |
清洗过滤器或排气管道 |
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真空泵达不到极限压强 |
防返油阀失效 |
维修防返油阀 |
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排气阀故障 |
检修排气阀 |
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泵油不合适 |
更换泵油 |
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进气口污染 |
清洗抽气管道 |
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泵抽气速率过小 |
确认泵技术参数，必要时换泵 |
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泵抽速太慢 |
进气口或进气管道堵塞 |
清洗进气管道（可加装杂质过滤器） |
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排气过滤器堵塞 |
清洗更换过滤器 |
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真空管道直径过小或太长 |
更换大直径管道或减小管道长度 |
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泵停之后被抽真空室内压强上升过快 |
真空室有泄漏 |
检查真空室密封情况 |
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防返油阀故障 |
维修更换防返油阀 |
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泵运行中温度过高 |
泵的风冷受阻 |
电机后部应预留足够风冷空间 |
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工作环境温度过高 |
降低工作环境温度，最高不超过40度 |
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所抽气体温度过高 |
调整工艺更换设备 |
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油位太低 |
加油 |
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油不适合 |
换油 |
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泵油循环受阻 |
清洗进油嘴 |
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排气过滤器排气管道堵塞 |
更换过滤芯清洗排气管道 |
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泵腔磨损 |
更换磨损部件 |
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泵噪音过大 |
无油或油位过低 |
加油 |
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进气口压强太高 |
降低进气口压强 |
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油雾过滤器堵塞 |
清洗更换油雾过滤器 |
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弹性联轴体磨损 |
更换联轴体 |
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叶片轴承损坏 |
维修真空泵 |